• Wafer Size(Max.) : ~ 200mm (8)  Diameter
 • Bowl Material : SUS(Can be changed to Engineering plastics)  
 • Bowl Size(내경) : SUS 390 m/m  
 • AC Servo Motor (Speed Up & Down free)
 • Step : 100,   Memory Storage : 100 Program
 • Rotation Speed : 0 to 50 ~ 5,000 rpm  
 • Run Time : 1~999sec
 • Accuracy : ±1 R.P.M  
 • 1,000 RPM /3 sec 
 • Power Input : AC 220V, 50/60Hz
 • Vacuum Input : -450~-650mmHg (6mm ID / 8mm OD)
 • Vacuum Gauge : - 100 kPa
 • Display : LCD (Back Light Type)
 • System Controller : Digital Type (Microprocessor)
 • Dimension (W X D X H) : 440 X 540 X 260 (compact design)