• Wafer Size(Max.) : ~ 100mm (4inch) 
 • Bowl Material : STS304(Can be changed to Engineering plastics)  
 • Bowl Size(Inner) : STS 235mm  
 • BLDC Servo Motor (Speed Up & Down free)
 • Step : 100,   Memory Storage : 100 Program
 • Rotation Speed : 0 to 50 ~ 8000 rpm  
 • Run Time : 1~999sec
 • Accuracy : ±1 R.P.M  
 • 3,000 RPM /sec 
 • Power Input : AC 220V, 50/60Hz
 • Vacuum Input : -450~-650mmHg (6mm ID / 8mm OD)
 • Display : LCD (Back Light)
 • System Controller : Digital Type (Microprocessor)
 • Dimension (W X D X H) : 320 X 420 X 220 (compact design)